噴霧降溫和增濕技術加濕對脫硫劑有很好的活化作用，故可影響到系統的脫硫效果及系統的穩定性和可靠性。加濕設備中噴嘴是技術關鍵，噴入的CaO粉末與水反應生成Ca(OH)2，其在低溫下有很高活性，可與增濕煙氣中SO2發生氣、液、固反應。從反應的自由能看，Ca(OH)2與SO2反應的自由能低于CaO與SO2反應生成CaSO3的自由能，約少6396kJmol，因而水蒸汽與石灰中CaO反應生成的濕堿性Ca(OH)2較CaO更易與SO2反應。

從吸收過程來看，蒸汽輸送過程中生石灰不斷吸收水蒸汽，形成Ca(OH)2，更易吸附SO2.同時水蒸汽與SO2結合生成H2SO3，降低了反應勢能;并且水蒸汽改變了SO2在脫硫劑表面的吸附性能，增加了SO2的吸附量，提高了反應速率，因而與沒有水分條件下相比，大大提高了脫硫效率。另外，相對濕度實際上決定了固體脫硫劑對水分吸附量的大小。

根據示范工程的半工業化實驗條件，計算得出該示范工程在鍋爐為100%負荷情況下的系統噴水量為289th，實際工程中的噴水量為32th左右，相對誤差為97%.分析原因應該是霧滴蒸發僅考慮的是純水狀況下，忽略了鹽晶核的存在，同時忽略了壓力、固體顆粒等因素影響，導致計算結果與實際產生誤差。確定大霧滴在半干半濕法脫硫塔內煙氣條件下的干燥時間為噴霧干燥時間，通過計算可知，霧滴粒徑為10m時，蒸發時間為0011s，當霧滴粒徑達到100m時蒸發時間超過1s.設計了1套計算程序用來分析脫硫塔內煙氣的加濕量，從而確定半干半濕法脫硫塔的噴水量，通過實驗表明，噴水量的計算值和實測值的相對誤差為97%.

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