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一)廢氣分析
1、制絨工藝廢氣分析
在制絨工藝過程中,廢氣源主要為制絨及清洗設(shè)備,廢氣種類因工藝不同而有區(qū)別,主要廢氣為氮氧化物、氟化氫氣體(多晶工藝);堿蒸汽及醇類(單晶)。
2、擴(kuò)散工藝廢氣分析
擴(kuò)散工藝涉及廢氣排放的設(shè)備主要是:擴(kuò)散爐、石英管清洗機(jī)、石墨舟清洗機(jī)等。擴(kuò)散爐排出的廢氣是酸性廢氣及熱廢氣,本項(xiàng)目酸性廢氣主要為含氯廢氣,如氯氣等。石英管清洗機(jī)、石墨舟清洗機(jī)產(chǎn)生的廢氣主要為含氟化氫及氯化氫成分的酸性氣體。
3、鍍膜工藝廢氣分析
鍍膜工藝涉及的主要設(shè)備為去磷硅玻璃清洗機(jī)及PECVD等。去磷硅玻璃清洗機(jī)產(chǎn)生的廢氣主要成分為氟化氫及氯化氫等;PECVD尾氣主要包含硅烷、氨氣等。
4、印刷工藝廢氣分析
印刷工藝涉及的主要設(shè)備為印刷機(jī)和燒結(jié)爐,產(chǎn)生的廢氣主要是一些以脂類和醇類廢氣為主的有機(jī)廢氣。
(二)廢氣抽風(fēng)量設(shè)計(jì)及設(shè)備選擇
根據(jù)上述廢氣分析,太陽能電池生產(chǎn)線產(chǎn)生的廢氣以處理方式來分可分為三類:酸堿廢氣、硅烷及氨氣等特氣、有機(jī)廢氣。
1、酸堿廢氣凈化系統(tǒng) 本項(xiàng)目涉及的酸堿廢氣來自制絨清洗機(jī)、擴(kuò)散爐、去磷硅玻璃清洗機(jī)、石英管清洗機(jī)及石墨舟清洗機(jī)等,主要成分為HF/HCl/Cl2/堿蒸汽等,這些廢氣均可溶于水,可以采用酸堿中和的方式進(jìn)行廢氣處理。
2、有機(jī)廢氣凈化系統(tǒng) 本項(xiàng)目有機(jī)廢氣以含脂類、醇類等揮發(fā)物為主,這些有機(jī)物微溶于水,不能用常規(guī)的洗滌法處理。根據(jù)這些特點(diǎn),本項(xiàng)目有機(jī)廢氣采用我公司研制生產(chǎn)的活性炭纖維有機(jī)廢氣凈化器進(jìn)行吸附凈化。
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